| |
Исследование сложнопрофильных микрообьектов методами атомной силовой микроскопии [Текст] / А. И. Галушков, И. В. Годовицын, А. Н. Сауров [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 1. – 83-84.
До последнего времени атомная силовая микроскопия (АСМ) применялась исключительно для исследования свойств нанообъектов |
