| |
Белов, А. Н.
Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Н. Белов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 1. – 11-14.
Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия |
