| |
Милешко, Л. П.
Механизм электрохимического формирования SiO2 из структур Si3N4-Si [Текст] / Л. П. Милешко
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 1. – 3-10.
Подробно рассмотрены гипотетические механизмы взаимодействия Si3N4 с анионами в процессе его анодного окисления в электролитах с легирующими компонентами |
