|
Автоматизированная установка для получения наноразмерных покрытий методом полиионной сборки [Текст] / С. А. Портнов, А. М. Ященок, А. С. Губский [et al.] // Приборы и техника эксперимента. – 2006. – № 6. – 115-120.
Описана автоматизированная установка ПОЛИИОН-1М для получения наноразмерных покрытий методом полиионной сборки |