| |
Невлюдов, И. Ш.
Проектные решения повышения надежности кремниевых интегральных преобразователей механических величин [Текст] / И. Ш. Невлюдов, М. А. Омаров, К. Ю. Харенко
// Радиотехника. – 2006. – № 147. – 119-122.
Рассматриваются конструкторско-технологические решения по созданию кремниевых интегральных преобразователей механических величин с защитой от перегрузок путем ограничения прогибов упругого элемента |
