|
Контроль микрорельефа диффузно отражающих поверхностей с использованием когерентно-ограниченных источников излучения [Текст] / И. Р. Котов, О. В. Майорова, В. Т. Прокопенко, В. В. Хопов // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2006. – 49, № 8. – 65-70.
Рассматриваются вопросы разработки высокоточных оптоэлектронных систем контроля микрорельефа диффузно отражающих объектов |