|
Матвеев, В. В. Зависимость характеристик микромеханического гироскопа от ориентации упругих элементов на пластине монокристаллического кремния [Текст] / В. В. Матвеев, В. Я. Распопов // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2006. – 49, № 6. – 61-66.
В работе рассмотрено влияние ориентации упругих элементов подвеса на характеристики микромеханического гироскопа RR-типа |