| |
Мальцев, П.
От микро- - к наносистемной технике [Текст] / П. Мальцев
// Электронные компоненты. – 2006. – № 1. – 83-86.
Наступивший XXI век ознаменовал новое направление в развитии кремниевой технологии, основанной на объемных конструкционных свойствах кремниевых элементов |
