Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Скворцов, А. М.
    Микроструктурирование поверхности монокристаллов кремния в электронной технике [Текст] / А. М. Скворцов, Ю. А. Жарова, В. Л. Ткалич
    // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2006. – 49, № 1. – 60-65.

   Для разработки и изготовления изделий наноэлектроники и оптоэлектроники требуется специальная обработка поверхности полупроводников

  УДК 621.382.002:621.382.002.049.77.002


            




Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'