|
Оноприенко, А. А. Зависимость электросопротивления и микроструктуры углеродных пленок от условий осаждения [Текст] / А. А. Оноприенко, И. Б. Янчук // Порошковая металлургия. – 2005. – № 9-10. – С. 106-113.
Исследовали зависимость электросопротивления углеродных пленок от температуры осаждения и мощности магнетронного разряда. |