| |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике [Текст] / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, К. А. Ковальский, К. Ю. Петухов
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 4. – 46-54.
Рассмотрены конструктивные особенности распылительной системы установки магнетронного распыления и условия формирования пленок AlN и ZnO с контролируемым содержанием и строением кристаллической фазы |
