| |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки [Текст] / Л. П. Ануфриев, В. В. Баранов, Я. А. Соловьев, М. В. Тарасиков
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 4. – 55-56.
Предложена технология формирования переходных слоев силицида палладия твердофазной реакцией пленки палладия с кремниевой подложкой непосредственно в процессе напыления без применения последующей термообробки |
