Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Аномальное дефектообразование в монокристаллическом кремнии при имплантации ионов фтора
[Текст] / Н. Н. Герасименко, А. А. Жуков, Н. Н. Герасименко [и др.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – С. 185-187.
УДК 621.382.049.77.002
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/І/імплантація, имплантация
Ключові слова/І/іон = йон, ион, іони/ион фтора
Ключові слова/К/кремній, кремний/кремній монокристалічний, кремний монокристаллический
Ключові слова/Д/дефектоутворення, дефектообразование
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'