| |
Тимошенко, С. П.
Разработка и изготовление чувствительных элементов микроэлектромеханических систем [Текст] / С. П. Тимошенко, С. А. Зотов, В. В. Калугин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 125-129.
Показано, что возможно создание унифицированных рядов различных микромеханических приборов |
