| |
Белов, А. Н.
Элементы микро- и наносистем в сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / А. Н. Белов, В. М. Рощин, В. И. Шевяков
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 120-124.
Показано, что использование в микромеханических кремниевых проводящих зондах покрытий на основе тугоплавких соединений титана и вольфрама приводит к качественному улучшению их надежностных характеристик |
