| |
Получение наноразмерных матричных структур в кремнии [Текст] / А. В. Бархударов, С. А. Гаврилов, А. А. Голишников, М. Г. Путря
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 102-106.
Рассмотрена технология самоорганизующейся упорядоченной маски на основе пористого анодного оксида алюминия для травления нанопор в кремнии |
