| |
Лазерный эллипсометр ЛЭФ-752 [Текст] / С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, Н. И. Назаров [et al.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2005. – № 1. – 163.
Лазерный эллипсометр ЛЭФ-752 предназначен для неразрушающего прецизионного контроля оптических характеристик поверхности и параметров тонкопленочных структур |
