| |
Особливості плазмохімічного осадження та характеристика покриттів на основі аморфного гідрогенізованого карбіду кремнію [Текст] / О. К. Порада, Г. В. Русаков, Л. А. Іващенко [et al.]
// Порошковая металлургия. – 2005. – № 7-8. – 69-79.
Досліджено вплив основних технологічних параметрів плазмохімічного осадження на властивості тонкоплівкових покриттів на основі аморфного гідрогенізованого карбіду кремнію, отриманого з використанням метилтрихлорсилану |
