| |
Алиев, Ш. Д.
Оптимизация технологии изготовления и сборки кремниевых транзисторных структур [Текст] / Ш. Д. Алиев, В. А. Чернечков, А. Р. Шахмаева
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2004. – № 7. – 61-62.
Рассматриваются возможные причины брака при изготовлении транзисторов и предложен оптимальный вариант технологии обработки и напыления обратной стороны кремниевой пластины и сборки, обеспечивающий высокое качество приборов |
