| |
Пошаговый метод ионного легирования кремния в создании интегральных микросхем [Текст] / В. И. Плебанович, А. Р. Челядинский, Ю. Б. Васильев [et al.]
// УСиМ. – 2008. – 37, № 3. – 213-218.
Исследованы электрофизические параметры активных элементов ИМС |
