| |
Энн, С. М.
Заче разработчикам знать про литографию [Текст] / С. М. Энн
// Электронные компоненты. – 2008. – № 1. – 32-37.
В статье идет речь о том, как складываются дела в полупроводниковом производстве, о последних инновациях и современных методах литографии |
