| |
Шангереева, Б.
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производствве интегральных схем [Текст] / Б. Шангереева
// Технология и конструироание в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – С. 54-56.
Получены оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками. |
