| |
Нанесение тонких пленок силицидов металлов методами PLD и LIFT [Текст] / С. А. Муленко, Ю. В. Кудрявцев, Н. Т. Горбачук [et al.]
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2008. – 51, № 4. – 37-42.
Для осаждения тонких пленок и слоев использованы импульсное лазерное осаждение и лазерно-индуцированный перенос пленок |
