| |
Механічні і трибологічні властивості нанокомпозитних покриттів на основі TiN та SiCN, отриманих з використанням метилтрихлорсилану [Текст] / В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко [et al.]
// Порошковая металлургия. – 2008. – № 1/2. – 125-133.
Досліджено нанокомпозитні покриття на основі TiN і SiCN, отримані методом посиленого плазмою газофазового осадження із застосуванням метилтрихлорсилану як одного з вихідних матеріалів |
