| |
Подъяпольский, С. Б.
Требования к системе обеспечения и контроля качества изготовления ИМС в условиях кремниевых фабрик [Текст] / С. Б. Подъяпольский
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 6. – С. 81-82.
Современное состояние и темпы развития микроэлектронного производства ставят ряд проблем перед изготовителями и потребителями в первую очередь в области контроля и обеспечения качества. |
