Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Новосядлий, С. П.
Підвищення теплостійкості і багатошарової металізації субмікронних структур ВІС
[Текст] / С. П. Новосядлий, Р. М. Іванюк
// Фізика і хімія твердого тіла. – 2007. – 8, № 4. – 850-855.
УДК 621.382:666.29.056
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/С/структура/структура субмікронна
Ключові слова/Т/теплостійкість
Ключові слова/М/металізація, металлизация, metallization
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'