Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Спектрометрія в субмікронній технології ВІС
[Текст] / П. І. Мельник, С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський, В. М. Вівчарук
// Фізика і хімія твердого тіла. – 2007. – 8, № 4. – 791-800.
УДК 537.228.1:537.311
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/Е/еліпcометрія
Ключові слова/М/метод/метод спектральний, метод спектральный
Ключові слова/С/спектрометрія, спектрометрия
Ключові слова/К/контроль/контроль тестовий
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'