| |
Нанолитграфия-наноимпринтинг [Текст] / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Е. А. Фризюк, О. Г. Шинкаренко
// Радиотехника. – 2007. – № 150. – 151-158.
Оптические матоды литографии пригодны для массового производства и позволяют изготавливать элементы с разрешающей способностью менее 10 нм |
