| |
Тутов, Е. А.
МОП-структуры с аморфным триоксидом вольфрама для емкостных сенсоров влажности [Текст] / Е. А. Тутов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 5. – 36-39.
Исследованы электрофизические характеристики структуры Al/a-WO3/n-Si в условиях сорбции паров воды |
