| |
Тимошенков, С. П.
Методика оценки параметров чувствительных элементов микроакселерометров и микрозеркал [Текст] / С. П. Тимошенков, А. Н. Бойко, Б. М. Симонов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 5. – 23-29.
Представлены результаты применения исследовательской методики, разработанной для измерения параметров микромеханических элементов |
