| |
Технологическая установка ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 [Текст] / А. Г. Гугля, Ю. А. Марченко, Н. В. Перун [et al.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2007. – № 3. – 136-139.
Описана технологическая установка ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
