| |
Кравченко, Ю. С.
Формування функціонального рисунку в плівках оптично прозорих напівпровідників [Текст] / Ю. С. Кравченко, М. М. Плахотнюк
// Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2007. – 1(13). – С. 114-121.
Проаналізовано процес травлення в низькотемпературній плазмі прозорих напівпровідникових плівок на основі оксидів індію та олова, як складової мікроелектронних та оптоелектронних приладів. |
