| |
Панфилов, Ю. В.
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала [Текст] / Ю. В. Панфилов, М. И. Самойлович, Е. В. Булыгина
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 2. – 49-52.
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов |
