|
Гасанов, А. М. Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры [Текст] / А. М. Гасанов, Ф. Д. Касимов, А. Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2004. – № 5. – 29-31.
Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру |