| |
Смирнов, В. В.
Влияние разориентации R-плоскости сапфира на процесс гетероэпитаксиального осаждения нитридов алюминия и галлия [Текст] / В. В. Смирнов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 1. – С. 5-11.
Исследовано влияние разориентации подложки сапфира на структурные свойства эпитаксиальных слоев GaN и AlN. |
