| |
Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме [Текст] / С. Н. Варнаков, А. А. Лепешев, С. Г. Овчинников [et al.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 6. – 125-129.
Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных материалов в сверхвысоком вакууме |
