|
Структурные изменения в пористых кристаллах после ионной имплантации [Текст] / И. В. Литвинчук, И. М. Фодчук, З. Свянтек [et al.] // Металлофизика и новейшие технологии. – 2004. – 26, № 8. – 1069-1080.
Методами рентгеновской дифракции исследованы структурные изменения в поверхностных слоях кристаллов, подверженных разным видам технологических обработок: ионной имплантации, химическому травлению, а также их совместному действию |