Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

mems

Документи:

Колпаков, Ф. Ф. Квазистатическая модель электростатического преобразователя с тепловым входом [Текст] / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк // Радиотехника. – 2007. – № 151. – 135-142.
Романов, В. Микроизоляторы и микрореле на основе MEMS - технологии [Текст] / В. Романов // Электронные компоненты и системы. – 2000. – № 7. – 3-4.