Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
електронорезист
Документи:
- Логвиненко, В. Дослідження захисних властивостей позитивних електронних резистів при травленні в плазмі галогеновмісних газів [Текст] / В. Логвиненко, Ю. Воловик // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 183-184.
- Логвиненко, В. Стійкість електронорезистів при рідинному хімічному травленні [Текст] / В. Логвиненко, Ю. Воловик // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 182-183.
|