Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

масс-спектрометрия вторично-ионная

Документи:

Мордвинцев, В. М. Исследование процесса образования окисной пленки нанометровой толщины на поверхности нитрида титана методом вторично-ионной масс-спетрометрии [Текст] / В. М. Мордвинцев, В. В. Наумов, С. Г. Симакин // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 258-272.