Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Э
ЭУФ-литография
Документи:
Влияние полимерной матрицы и фотогенератора кислоты на литографические свойства химически усиленного фоторезиста [Текст] / С. А. Булгакова, Д. А. Гурова, С. Д. Зайцев [и др.] // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 419-428.
Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени [Текст] / А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников [и др.] // Квантовая электроника. – 2016. – Т. 46, № 5. – С. 473-480.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'