Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
плазма
плазма тлеющего разряда
Документи:
Баринов, С. М.
Кинетика роста и плазменной деструкции полимерных пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане [Текст] / С. М. Баринов, А. М. Ефремов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 2. – С. 98-104.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'