Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
селективність, селективность
селективность травления
Документи:
Маишев, Ю. П.
Исследование селективности травления различных материалов пучками быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. П. Кудря // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 415-418.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'