Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

модель адсорбционно-кинетическая

Документи:

Наливайко, О. Ю. Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 50-55.
Наливайко, О. Ю. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 2. – С. 37-41.