Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
трихлорсилан
Документи:
- ГОСТ 25239.6-84 Кремний четыреххлористый [Текст] : Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1, 3, 3, 3-тетрахлордисилоксана, 1, 1, 3, 3-тетрахлордисилоксана, гексахлордисилана.
- ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения [Текст] : Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния.
- ГОСТ 26239.9-84 Трихлорсилан [Текст] : Метод определения хлористого метила, хлористого этила, бутана, изобутана, хлористого метилена, хлороформа, четыреххлористого углерода, метилдихлорсилана, метилтрихлорсилана, хлорметилметилсилана.
|