Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
дихлорсилан
Документи:
- ГОСТ 25239.6-84 Кремний четыреххлористый [Текст] : Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1, 3, 3, 3-тетрахлордисилоксана, 1, 1, 3, 3-тетрахлордисилоксана, гексахлордисилана.
- ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан [Текст] : Методы определения примесей.
- ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения [Текст] : Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния.
|
