Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
фотолітографія, фотолитография
Підтеми:
Документи:
- Абрамов, Г. В. Некоторые вопросы синтеза пневматических устройств межоперационного транспортирования с заданным законом движения легкоповреждаемых изделий [Текст] / Г. В. Абрамов, Л. И. Назина, Г. В. Попов // Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2000. – № 5-6. – 88-94.
- Айвазян, Г. Е. Нарушение точности совмещения топологических рисунков при фотолитографии [Текст] / Г. Е. Айвазян, А. М. Скворцов // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2003. – 46, № 1. – 71-72.
- Белокопытов, Г. В. Оптическая литография без маски [Текст] / Г. В. Белокопытов, Ю. В. Рыжикова // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 453-467.
- Опыт изготовления прецизионных фотошаблонов с применением высокоточных генераторов изображения [Текст] / В. А. Беспалов, В. А. Овчинников, Н. И. Сидоренко [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 2. – С. 55-60.
- Боков, Ю. С. Фото-, электроно- и рентгенорезисты [Текст] / Ю. С. Боков. – М. : Радио и связь, 1982. – 136с : ил. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры). – Библиогр.: с. 129-135.
- Исследование шума вида 1/f в наноразмерных пленках золота [Текст] / С. А. Гаврилов, Д. Г. Громов, Г. П. Жигальский, А. В. Кареев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 6. – С. 37-43.
- Поиск источника излучения на базе фотонно-кристаллического волокна для STED-литографии [Текст] / Д. А. Глубоков, В. В. Сычев, А. Г. Витухновский, А. Е. Корольков // Квантовая электроника. – 2013. – Т. 43, № 6. – С. 588-590.
- Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу [Текст] / Данько, А. В, Індутний [та ін.] // Наука та інновації. – 2017. – Т. 13, № 6. – С. 25-35.
- Жуков, А. А. Влияние режимов фотолитографического цикла на величину отрицательного угла маски из позитивного фоторезиста [Текст] / А. А. Жуков, Е. Ю. Ильин, Н. Н. Герасименко // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 440-442.
- Кицак, М. А. Некоторые особенности формирования фотолитографических изображений в частично когерентном излучении [Текст] / М. А. Кицак, А. И. Кицак // Квантовая электроника. – 2010. – Т. 40, № 10. – С. 914-918.
- Кравченко, Ю. С. Хімічні процеси в мікроелектронній технології [Текст] : навчальний посібник / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков ; МОН України, ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2007. – 53 с.
- Кравченко, Ю. С. Хімічні процеси в мікроелектронній технології [Електронний ресурс] : навчальний посібник / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков ; МОН України, ВНТУ. – Електрон. текстові дані. – 2008.
- Формирование рельефных рисунков из серебра и селенида цинка методом "взрывной" фотолитографии [Текст] / Д. В. Лысич, С. В. Зеленцов, В. Е. Котомина, И. Н. Антонов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 203-207.
- Пресс, Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] / Ф. П. Пресс. – Москва : Энергия, 1968. – 200 с. – 0,79 р.
- Пресс, Ф. П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] / Ф. П. Пресс. – М. : Сов. радио, 1978. – 96 с. – (Массовая б-ка инженера. Электроника. 18).
- Семеренко, М. М. Котроль якості операцій фотолітографії при виготовленні польових транзисторів [Текст] / М. М. Семеренко, О. М. Ковальчук // Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах. – 2000. – № 1. – С. 58-61.
- Храбан, А. А. Основи технології напилення та фотолітографії в мікроелектроніці [Текст] : Навчальний посібник / А. А. Храбан, В. М. Мізерний, В. І. Лукашевський. – Вінниця : ВДТУ, 1998. – 87 с.
- Введение в фотолитографию [Текст] / Под ред. В.П. Лаврищева. – М. : Энергия, 1977. – 400 с.
|