Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
фоторезист
Документи:
- Атамась, В. А. Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации [Текст] / В. А. Атамась, А. А. Крючин, В. В. Петров // Реєстрація, зберігання і обробка даних. – 2004. – 6, № 3. – 19-24.
- Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации [Текст] / Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, М. Г. Лукашевич [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 448-452.
- Влияние полимерной матрицы и фотогенератора кислоты на литографические свойства химически усиленного фоторезиста [Текст] / С. А. Булгакова, Д. А. Гурова, С. Д. Зайцев [и др.] // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 419-428.
- Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу [Текст] / Данько, А. В, Індутний [та ін.] // Наука та інновації. – 2017. – Т. 13, № 6. – С. 25-35.
- Жуков, А. А. Влияние режимов фотолитографического цикла на величину отрицательного угла маски из позитивного фоторезиста [Текст] / А. А. Жуков, Е. Ю. Ильин, Н. Н. Герасименко // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 440-442.
- Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста [Текст] / Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов [и др.] // Квантовая электроника. – 2015. – Т. 45, № 5. – С. 462-466.
- Короткевич, А. В. Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек [Текст] / А. В. Короткевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 1999. – № 5-6. – 25-27.
- Мальцев, В. П. Исследование процесса образования пленок фоторезистов методом дифференциальной сканирующей калориметрии [Текст] / В. П. Мальцев, А. С. Пашинкин, С. П. Тимошенков // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – 23-27.
- Дослідження процесу формування мікрорельєфних структур у плівках хрому на основі методу хімічного травлення [Текст] / А. В. Панкратова, А. А. Крючин, Ю. О. Бородін [та ін.] // Реєстрація, зберігання і обробка даних. – 2021. – Т. 23, № 1. – С. 5-14.
|