Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
розпилення, распыление
распыление ионно-плазменное
Документи:
Васильева, Н. Д.
Свойства пленок аморфного гидрогенезированного углерода, полученных ионно-плазменным распылением [Текст] / Н. Д. Васильева, В. А. Воронцов, А. И. Попов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 4. – 5-11.
Панфилов, Ю. В.
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала [Текст] / Ю. В. Панфилов, М. И. Самойлович, Е. В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 2. – 49-52.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'