Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
разряд магнетронный
Документи:
- Плазменная установка для нанесения покрытий на поверхность твердых тел "Яшма-2" [Текст] / П. С. Ананьин, Д. Д. Баинов, Л. Г. Косицын [et al.] // Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 4. – 138-141.
- Ветошкин, В. М. Использование высокочастотного магнетронного разряда для утилизации хлорсодержащих газов [Текст] / В. М. Ветошкин, А. А. Данилов, П. Н. Крылов // Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 4. – 134-137.
- Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом [Текст] / К. Е. Евдокимов, М. Е. Конищев, С. Чжилэй, В. Ф. Пичугин // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 6. – С. 44-49.
- Магнетронное распылительное устройство с генерацией импульсных пучков высокоэнергетических атомов газа [Текст] / А. С. Метель, С. Н. Григорьев, М. А. Волосова, Ю. А. Мельник // Приборы и техника эксперимента. – 2017. – № 2. – С. 144-151.
- Рычков, Д. С. Модель анодного слоя магнетронного разряда [Текст] / Д. С. Рычков, В. П. Кривобоков, Д. А. Маракасов // Изв.ВУЗов.Физика. – 2002. – 45, № 11. – 31-39.
|